该网页围绕光束轮廓和质量因子(M^2)测量展开,从基础概念到测量方法及系统均有涉及,以下是详细解读:
一、激光基础与光束轮廓
1. 横模分类
- 基模(TEM):理想高斯光束,具最低阈值、最小束腰及发散角,横向强度无分瓣。
- 高阶模:常见于高功率激光器,束腰和发散角大于基模,实际光束多为基模与高阶模混合。
- 特殊光束:椭圆光束可经变形棱镜对等变为圆形;高斯光束还可转为平顶、甜甜圈(空心)、贝塞尔光束。
2. 测量意义:避免光束超探测器有源区,确保高功率激光下光学元件和探测器安全。
3. 光束直径定义
- 半高宽(FWHM
)直径:光强降至中心最大值50%两点间的距离,高斯光束中约76%功率含于此范围内。
- 1/e^2直径:光强降
至中心最大值1/e^2两点间的距离,是FWHM直径的1.7倍,机械式轮廓仪常用此定义。
- D4σ直径:ISO 11146标准推荐,在ROI区域沿长轴和短轴取强度标准差4倍,相机式轮廓仪常用,需注意背景光补偿和防传感器饱和。
二、光束参量与质量评估
1. 光束参量积(BPP):束腰半径与远场半发散角的乘积,用于衡量激光能量聚集能力。
2. M^2因子:实际
光束BPP与相同波长高斯光束BPP之比,高斯光束M^2=1,M^2越大,光束质量越差、聚焦能力越弱。
三、测量技术与设备
1. 刀口法
- 原理:刀口垂直光束运动,光电二极管记录光功率变化,通过84%和16%强度点对应位移确定1/e^2光束半径,乘以2得直径。
- 优劣势:装置和算法简单,仅适用于圆形高斯光束,可通过扫描狭缝法(用微米级狭缝)克服此局限。
2. 扫描狭缝光束轮廓仪
- 构造与原理:内置转筒和正交狭缝,转筒旋转时扫描光束,根据转筒周长、狭缝宽度和转速计算光束参数,可测1/e^2直径,BP209系列最大测2700nm波长。
- 优劣势:能承受高功率,仅能扫描两正交截面,无法获完整强度轮廓,测高阶模可能丢失结构信息,可调节转筒角度对准椭圆光束主轴。
3. 相机式光束轮廓仪
- 特点:无运动部件,传感芯片无保护玻璃(消干涉、可测紫外光),需衰减光束防饱和或损坏,按D4σ法计算直径,可测任意轮廓甚至多束激光。
- 局限:波长通常限于UV到NIR,需高计算能力处理数据,最小可测光束尺寸受像素尺寸限制(经验法则为像素尺寸4倍),低重频脉冲激光测量需注意平均设置防饱和损伤。
四、M^2因子测量系统
1. 传统方法:聚焦光束,位移台控制轮廓仪在焦点前后测多个直径,插值确定束腰后计算M^2,装置占空间,轮廓仪运动可能引入测量噪声。
2. Thorlabs系统
- 结构:轮廓仪固定输出端,聚焦透镜在输入端,闭光设备内两反射镜(装位移台)反射聚焦光束至轮廓仪,测焦点附近至少5个位置及瑞利范围外5个点算M^2。
- 拓展功能:拆掉聚焦透镜可直接测准直光束发散角。
五、关键注意事项
- 低重频脉冲激光:两种轮廓仪测高重频脉冲激光可准连续模式工作,测低重频需设足够高平均获光滑轮廓,同时注意相机曝光强度防饱和损伤。
- 光束与狭缝/像素匹配:扫描狭缝法要求光束直径远大于狭缝宽度,否则用刀口模式;相机式测量要求光束大于像素尺寸4倍左右。